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0.1ｍｍピッチ4探針プローブ
分
析
関
連
商
品
小さなサンプルの電気抵抗測定に最適！
a c c u ra t e m ea s u r e m e n t o f el ec t r i c a l r es i s t a n c e i n a t i ny a r ea
0.1ｍｍピッチ4探針プローブ
探針間隔0.1ｍｍの４探針電気抵抗測定プローブです。
空間分解能を，従来プローブに比べ１ケタ向上させ，サ
ブミリ領域の電気抵抗測定を可能にしました。導電材料
、半導体材料に関して、開発における簡易評価、生産に
おけるモニタとしてご利用いただけます。
半導体、金属膜、透明導電膜、傾斜機能材料、粉末冶金
材料など電極付け等のパターニングなしでプローブをサ
ンプルにあてるだけで測定できます。通常の測定系(電
流源、電圧計）がそのままご利用いただけます。
■【0.1ｍｍピッチ4探針プローブ】仕様
測
定
方
式
直流4端子法
空 間 分 解 能
約0.5ｍｍ
標
準
探
針
Ｓｉ用ＷＣ探針（測定対象素材に応じてご相談を承ります）
測
定
対
象
各種半導体膜、金属膜の他、導電性塗布膜、 透明導電膜、粉末冶 金材料、傾斜機能
材料など各種導電性材料
このような材料の電気抵抗測定に！
導電性塗布膜
透明導電膜
粉末冶金材料
小さな抵抗測定領域
半導体
傾斜機能材料
金属膜
小ブロック
【0.1ｍｍピッチ4探針プローブ】
測定例
Pドープポリシリコンの抵抗測定
5ｍｍ角の一様な抵抗値のポリシリコン薄膜の測定例です。
従来のピッチプローブでは正確な値が測定できないのに対して、開発した0.1ｍｍピッチプ
ローブでは周辺0.5ｍｍ程度の領域を除いて、正確なシート測定が可能です。
本プローブは通常の測定系(電流源、電圧計）がそのままご利用いただけます。
本プローブ専用の簡易測定治具や手動測定装置も用意しています。本プロー
ブは平坦なシリコンや金属膜などの測定用ですが、特殊用途の測定プローブ
作成に関してもご相談に応じます。
*文中記載の会社名及び製品名は、各社の商標または登録商標です。
*本カタログ記載の内容は予告なく変更することがあります。
お問い合わせ先
PS201412Z
Tel : 046-250-3678 E-mail: [email protected]
http://www.keytech.ntt-at.co.jp/
先端プロダクツ事業本部 材料分析センタ
〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1