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技術トピックス
〈技術トピックス〉
圧力センサ用デジタルトリミング IC
圧力センサはいわゆるMEMS デバイスの最古参
このICは使用温度範囲が− 40 ∼ 125℃と広く，
であり，そのアプリケーション分野は自動車，ヘ
かつ圧力センサとインタフェースを構築した際の
ルスケア，医療，FA，住設，家電などさまざま
精度は± 1%FS/0 ∼ 85 ℃を実現し得るものである
な用途に広がりを見せている．中でも自動車アプ
（図 2）．またオフセット電圧，スパン電圧，オフ
リケーションにおけるセンサ需要は極めて大きく，
セット温度特性，感度温度特性など圧力センサが
低圧から高圧まで幅広い圧力レンジとさまざまな
持つばらつきを補正する信号処理能力に加えて，
製品形態を持つセンサが各メーカより製品化され，
温度センサも内蔵しており，“マルチセンシング”
市場投入されている．
を実現している．
当社グループ（フジクラ，東北フジクラ）では，
本 ICの主な特徴は表１のとおりである．
これまで血圧計に代表される医療，ヘルスケア分
今回使用したデジタルトリミングという手法は，
野，圧力スイッチといった FA 分野，さらに家電
高精度なセンサの出力調整として最も有力な手段
といった民生マーケットでその競争力を発揮して
であり，このように，開発した IC と圧力センサ
きたが，今後は自動車マーケットにも積極的に製
チップにインタフェースを構築してワンパッケー
品を投入していくことで，一層の性能／品質向
ジ化することによって，高精度でローコストな圧
上，コスト競争力アップをはかりつつ，センサ製
力センサを作製することが可能である．さらに本
品ラインナップを拡充していく予定である．
ICが持つ設計自由度と，既存パッケージ開発技術
こうした新たな製品開発へ向けたファーストス
を組み合わせることにより，当社グループの強み
テップとして，われわれは今回 ICメーカ殿の協力
であるさまざまな顧客要求に応える“カスタマイ
を得てオリジナルの圧力センサ用信号処理 ICを開
ズ性”もより強化できるものと考える．
発した（図 1）
．
（東北フジクラ センサ部 小山内）
オフセット電圧
調整ブロック
感 度
調整ブロック
8.0
7.0
6.0
5.0
4.0
精
3.0
2.0
度
1.0
（％FS）0.0
−1.0
−2.0
−3.0
−4.0
−5.0
−6.0
−7.0
−8.0
−50 −25
温度特性
調整ブロック
圧力センサ
出 力
デジタル
トリミングデータ
圧力センサチップ
温度センサ
出 力
信号処理IC
電源ノイズ除去用
コンデンサ
電 源
図1
ローパスフィルタ用
コンデンサ
GND
開発品仕様
0
フィルタ
図2
開発 IC を組み込んだ圧力センサブロック図
表1
当社集積化
センサ仕様
25
50
75
温 度（℃）
100 125 150
圧力センサ測定精度の温度特性
開発ICの主な特徴
■高精度なデジタルトリミング
■出力電圧のカスタマイズが容易
→ 精度 ±1%FS/0∼85℃
→ Rail to Rail出力，
オフセット電圧可変
■広範な温度範囲で動作
→ 動作温度範囲−40∼125℃
■アナログ出力温度センサ搭載
→ 計測範囲−40∼125℃
■レシオメトリック出力
■低電圧動作可能
■間欠駆動による低消費電力化
→ 電源電圧に比例した
出力電圧
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→ 動作電源電圧DC +3∼5V
自動車電装事業部 センサ技術部
→ イネーブルピンによる動
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