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機能
多彩な測定モードで豊富な情報が得られます
大気中、真空中、液中
装備
標準
: 観察可能な環境を表します。
凹凸像、位相像・・・・
: 得られる情報を表します。
大気中、真空中
ノンコンタクトモード AFM
ョン
オプシ
Non-Contact Mode AFM
カンチレバを自励発振させな
がら試料表面を非接触で走査
し、表面形状を得るもので、
ダメージを与えずに高分解能
測定が行えます。検出方法は
周波数検出です。
拡張ロックインアンプにより SKPM、LM-FFM、
VE-AFM、SCFM の測定モードが可能になります。
大気中、真空中
SKPM
Scanning Kelvin Probe Microscope
SPM にケルビンプローブ法を
応用し、試料表面電位分布の
測定が行えます。
プラスミド DNA
（上）
Si(111)表面の
ステップ（下）
凹凸像、周波数像、V-F
装備
標準
大気中、真空中、液中
コンタクトモード AFM
Contact Mode AFM
試料とカンチレバの間に働く
斥力を一定に保ちながら試料
表面を走査し、表面形状を得
るもので、試料の導電性の有
無に関わらず測定が可能です。
凹凸像、表面電位差像
スズ合金表面
凹凸像（上）
表面電位差像（下）
大気中、真空中、液中
LM-FFM
MICA 原子像
Lateral Modulation FFM
試料を水平方向に微小振動さ
せることにより生じるカンチ
レバのねじれから FFM 像を得
るものです。走査方向や表面
形状の影響を受けることなく
精度良く摩擦像の観察が行え
ます。
ポリプロピレン
有機物塗布紙
凹凸像（上）
摩擦像（下）
● コンタクト電流測定
試料表面の凹凸形状測定と同時に試料とカンチレバ間に電圧を印加し、
電流像を観察するものです。試料表面の導電分布やリークポイント測定
が行えます。
凹凸像、摩擦像
● 摩擦像測定（FFM）
カンチレバと試料間に働く摩擦力をコ
ンタクトモード AFM のカンチレバの
横方向のねじれから測定するもので、
試料の凹凸像と摩擦力の分布像が同時
に得られます。
フォトディテクタ
レーザ光
カンチレバ
ITO 膜表面
凹凸像（上）
電流像（下）
凹凸像、フォース像、コンタクト電流像、摩擦像
フォースカーブ、フリクションフォースカーブ
CITS、I-V、SPS マッピング
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摩擦小
摩擦大
ビデオテープ表面
凹凸像（上）
摩擦像（下）
装備
標準
大気中、真空中、液中
AC モード AFM
● 位相像測定（Phase）
AC Mode AFM
カンチレバの加振信号とカンチレバ振動の位相差を検出し
て画像化します。微小な力変化を高精度で測定することが
できます。
カンチレバを共振させながら
試料表面を走査し、表面形状
を得るもので、柔らかい試料
にダメージを与えずに観察が
行えます。検出方法は振幅検
出です。
ポリ塩化ビニリデン
PET フィルム加熱観察 凹凸像（左）、位相像（右）
● 磁気像測定（MFM）
ポリエチレン単結晶
磁性材料をコートしたカンチレバを使用して、わずかに試
料表面から離れたところでの位相を取り込むことによって
磁気分布を測定することができます．
凹凸像、振幅像、位相像
納豆菌
大気中、真空中、液中
MO ディスク観察 凹凸像（左）、磁気像（右）
VE-AFM
Micro Viscoelasticity
試料を垂直方向に微小振動さ
せることにより生じるカンチ
レバの振幅と位相の変化から
弾性像と粘性像を得るもので
す。
ョン
オプシ
MFM ボードを追加することにより、MFM 機能を
拡張することができます。
凹凸像、弾性像、粘性像
Scanning Capacitance Force Microscope
試料とカンチレバ間に交流電
圧を印加し、試料のキャパシ
タンスがカンチレバに与える
力を検出し、試料表面のキャ
パシタンス像を得るものです。
標準
大気中、真空中
STM
大気中、真空中
SCFM
装備
接着剤硬化面
弾性像（上）
粘性像（下）
Scanning Tunneling Microscope
金属探針と導電性試料との間
にバイアス電圧を加え、その
間に流れるトンネル電流を一
定に保ちながら試料表面を走
査し、表面形状を得るもので
す。
HOPG 原子像
シリコン pn
パターン基板
凹凸像（上）
SCFM 像（下）
凹凸像、キャパシタンス像
液晶(8CB)分子像
凹凸像、電流像、CITS
I-V,S-V,I-S
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